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电子探针和扫描电镜是利用聚焦电子束与固体样品表面微区（微米至亚微米尺度）相互作用，产生二次电子、背散射电子、阴极荧光、特征X射线、连续X射线等信息，进行样品表面形貌观察和成分分析，从而了解样品表面形貌、矿物成分、矿物结构、矿物相关系等。电子探针和扫描电镜的功能有重合。其中电子探针侧重样品成分定量分析，主要通过能谱仪（EDS）或波谱仪（WDS）分析与样品表面组成元素有关的特征X射线波长及其强度，与标准物质对比，确定样品的元素组成及含量，其中扫描电镜功能主要协助成分信息与样品表面形貌信息匹配。
电子探针和扫描电镜是利用聚焦电子束与固体样品表面微区（微米至亚微米尺度）相互作用，产生二次电子、背散射电子、阴极荧光、特征X射线、连续X射线等信息，进行样品表面形貌观察和成分分析，从而了解样品表面形貌、矿物成分、矿物结构、矿物相关系等。电子探针和扫描电镜的功能有重合。其中电子探针侧重样品成分定量分析，主要通过能谱仪（EDS）或波谱仪（WDS）分析与样品表面组成元素有关的特征X射线波长及其强度，与标准物质对比，确定样品的元素组成及含量，其中扫描电镜功能主要协助成分信息与样品表面形貌信息匹配。
电子探针（EPMA）和扫描电子显微镜（SEM）是用来对固体样品进行表面微区形貌观察和成分分析的仪器，是研究地球与行星科学最基础、使用最广泛的原位微束分析技术，广泛应用于矿物学、岩石学、地球化学、构造地质学、比较行星学、材料学、环境科学等生产、研究领域。
电子探针和扫描电镜是利用聚焦电子束与固体样品表面微区（微米至亚微米尺度）相互作用，产生二次电子、背散射电子、阴极荧光、特征X射线、连续X射线等信息，进行样品表面形貌观察和成分分析，从而了解样品表面形貌、矿物成分、矿物结构、矿物相关系等。电子探针和扫描电镜的功能有重合。其中电子探针侧重样品成分定量分析，主要通过能谱仪（EDS）或波谱仪（WDS）分析与样品表面组成元素有关的特征X射线波长及其强度，与标准物质对比，确定样品的元素组成及含量，其中扫描电镜功能主要协助成分信息与样品表面形貌信息匹配。扫描电镜侧重样品表面形貌观察，增加能谱仪（EDS）或波谱仪（WDS）可以进行一定的定性定量成分分析。
（1）二次电子图像观察（SEI）
（2）背散射图像观察（BSE）
（3）阴极发光图像观察（CL）
（4）常见造岩矿物（包括氧化物、硫化物、硅酸盐、磷酸盐、硫酸盐、碳酸盐等矿物）主量元素含量分析
（5）硅酸盐玻璃主要元素含量分析
（6）挥发组分（如F、Cl等）含量分析
（7）稀土矿物成分分析
（8）造岩矿物中主要元素的面扫描分析，如橄榄石中Mg、Fe、Ni等元素
（9）特定矿物中重要微量元素面扫描分析，如橄榄石中P等。
（1）样品制备简单
（2）无损
（3）原位微区分析，分析区域直径可以小于1 μm
（4）分析元素范围广，可以测试Be – U之间的元素
（5）除了单点定量分析外，可以进行定性或定量的线扫描和面扫描分析
（6）应用范围广，可测试各类固态样品
（7）分析快捷且成本较低。
| GB/T 4930-2021 微束分析 电子探针显微分析 标准样品技术条件导则 |
| GGB/T 17360-2020 微束分析 钢中低含量硅、锰的电子探针定量分析方法 |
| GB/T 20726-2015 微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法 |
日本岛津（SHIMADZU）EPMA－8050G
主要技术指标：
电子光学系统：
电子枪：肖特基场发射发射体
加速电压：0.5～30 kV（0.1kV 步进。5kV 以下可以10V 步进设定）二次电子像分辨率(分析条件)：3nm（加速电压30 kV，分析位置） 20nm（10nA/10kV）
50nm（100nA/10kV）
150nm（1μA/10kV）
最大束流：3uA（加速电压30kV）
束流稳定度：0.3%/h（50nA@10kV）
放大倍率：40 倍～400,000 倍（WD = 6.35mm 分析高度）
X 射线谱仪（WDS）：
元素范围：4Be~92U
样品的导电性能对测试结果影响较大，不导电材质需要先做喷碳导电处理。
| EPMA 小区元素mapping分析观测 | |
| 芯片观测BSE图 | 元素mapping-Cu |
 |  |
| 元素mapping-Pd | 元素mapping-Cl |
 |  |
确认需求，签订合同，接受委托
根据需求进行试验
客户确认并验收测试结果
致力于提供多元化的检测研发服务，为品质生活创享信任。
